在洁净室的日常运转和维护中，ffu风机、mau水洗设备效率、滤料材质和工艺的不同使用组合对压损、能耗和寿命也会产生差异，对客户的总拥有成本会产生显著影响。
1.若风机全压越高，则过滤器可以达到其最终的使用寿命！（针对12寸半导体28纳米制程与tsmc/umc同等制程，可选用此方案）；
2. ptfe过滤器：0.45m/s时80pa，效率为99.9995%（u15）；
3.若同一区域需要三种化学过滤器，则需315pa高静压电机同时满足化滤压损。（酸25pa 碱25pa voc25pa）
4.数据符合din24 166技术公差±5%。
5.230pa@0.45m/s 整机效率57% ，275pa@0.45m/s整机效率58%，320pa@0.45m/s整机效率整机效率59%