厦门联芯生产基地凯发k8国际的解决方案 -凯发k8国际


厦门联芯生产基地是海峡两岸合资建设的第一座12英寸晶圆厂,也是福建省目前投资金额最大的单体项目。投资约62亿美元。项目全部建成后形成12英寸、线宽55-28nm的集成电路芯片共5万片/月的生产能力。


15年开始奇昇持续为厦门联芯提供高静压gebhardt风机,并选用奇昇提供的高洁净度和高稳定性的半导体凯发k8国际的解决方案,提升试产良率,达到98%。总压能搭配现场化学滤网有效地处理amc,高效过滤器经en1822的测试台100%测试确保压损及效率,并配合业主针对outgassing需求进行第三次验证。


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